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MI4050 正规代理hitachi日立聚焦离子束系统

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MI4050
更新时间:
2018-09-05 18:05
厂商性质:
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正规代理hitachi日立聚焦离子束系统
新型电子光学系统,可达到世界高水准的SIM像分辨率大束流使加工速度得以提升提高了低加速电压的分辨率,使得高品质TEM样品制备成为可能

正规代理hitachi日立聚焦离子束 详细信息

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正规代理hitachi日立聚焦离子束系统

正规代理hitachi日立聚焦离子束系统

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统:新型电子光学系统,可达到世界高水准的SIM像分辨率大束流使加工速度得以提升提高了低加速电压的分辨率,使得高品质TEM样品制备成为可能
可用于截面加工观察,高品质TEM样品制备,电路修复,Vector Scan加工,微纳米级微细图形及磨具加工,利用沉积功能制作3维构造等众多样品加工应用。

通过提高极低加速电压(0.5kV~)加工及低加速电压二次电子图像分辨率,实现制备损伤率更低的TEM样品

优越的操作性能和多种多样的加工模式

  • 截面制备程序加工
  • TEM/STEM样品程序加工
  • 自动连续加工
  • TEM样品自动连续精加工软件
  • 位图加工
  • Vector Scan加工
  • 制备纳米精度三维结构样品 其他
项目内容
样品尺寸50mm×50mm×12mm(t)以下
样品台5轴电动机械优钱柜娱乐平台马达台
加速电压1~30kV (0.5kV~ 选配)
(0.5~1.0kV : 步长0.1kV)
(1.0~2.0kV : 步长0.2kV)
二次电子分辨率4nm@30kV
最大探针电流90nA
最大探针电流密度50A/cm2


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